Das neue Vakuum-Transportband verteilt 4000 Wafer pro Stunde auf mehrere Spuren
| Das Vakuum-Transportband hat im Vergleich zum Solar-Transportband eine dynamischere Beschleuni-gungs- und Bremsrampe sowie eine höhere Transportgeschwindigkeit. Es transportiert Wafer über Kopf mit einer Geschwindigkeit von fünf Metern pro Sekunde. Mit dem Vakuum-Transportband können mehrere Wafer gleichzeitig gehandelt werden. Herkömmliche Handling- und Transportanwendungen benötigen eine unproduktive Rückfahrt. Das Vakuumtransportband von Montech hat keine Rückfahrt und trägt somit dazu bei, die Produktivität in der Waferproduktion zu erhöhen. Darüber hinaus ist es kostengünstiger. Ein weiterer Vorteil im Vergleich zu anderen Systemen ist die kompakte Bauweise des Vakuum-Transportbandes. Quelle: Montech AG |
